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探针台显微镜

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全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,方便使用的正像光学系统,是理想的检测半导体器件的工具,支持3种激光波长,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。






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PSM-1000E

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PSM-1000E
产品简介
全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,方便使用的正像光学系统,是理想的检测半导体器件的工具,支持3种激光波长,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。

描述

●  人机工程头部
PSM-1000E双目观察头可以在3°- 30°转动,调整观察眼点的高度和观察方向,使操作者的使用更加舒适。

●  管镜
PSM-1000的管镜转盘上装有1X NUV、1X NIR和2X 管镜,三组管镜之间可以根据需要进行切换,切换简单、方便。其中1X NUV对355nm和532nm波长进行了优化,1X NIR对532nm和1064nm波长进行了优化,当使用这3个波长的激光器时,可以得到更好的激光透过率。

●  光路切换拉杆
通过推拉光路转换拉杆可以方便的对光路进行切换。当转换拉杆往外拉时,双目头和摄像接口的分光比为0:100,此时从摄像接口上入射的激光100%的进入光路,提高了激光效率;当转换器拉杆往里推时,双目头和摄像接口的分光比为50:50,此时即可用双目头观察,同时也可以在摄像接口上使用CCD摄像头或激光器。

●  偏光观察
主体上留有偏光插孔,插上偏光附件(选配件),可进行偏光观察。

●  调焦机构
PSM-1000的调焦机构转动舒适,工作可靠。调焦机构最大可承载45磅(20.4Kg),确保安装激光器和CCD摄像头后,仍然能够正常工作。

●  转换器
PSM-1000采用4孔可调中转换器,使用随机配送的调中钥匙,可以很方便地调整物镜的齐中。

●  物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。

●  数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上,组成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。

●  照明系统
采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。

●  探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。

●  激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。

注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而产生的安全和性能问题,麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。

规格说明

PSM-1000主要技术参数

铰链式三目头 图像 正像
瞳距 调节范围 55-75mm
视场直径 24mm
分光比 可通过光路切换拉杆自由切换(双目头:第三目=100:0或50:50)
主体 管镜 1X(可对紫外及红外线进行优化),2X
激光的使用 拉出光路切换拉杆即可
可应用的激光 1064/532/355 nm NWR laser
调焦机构 粗微调手轮 调焦行程:50mm;粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转
调焦机构最大承重量 20.5kg
摄像接头 C-Mount接头
照明系统 同轴垂直照明,可变孔径光栏
冷光源(选配) 150W冷光源照明器及工业显微镜光纤(2m)
物镜转换器 四孔物镜转换器,中心可调,可拆卸
物镜(选配) 长工作距离平复消色差物镜 2X, 5X, 10X, 20X, 50X
超长工作距离复消色差物镜 50X, 100X
可调焦长工作距离复消色差物镜 2X, 5X, 10X, 20X, 50X
可调焦超工作距离复消色差物镜 50X, 100X
NIR超长工作距离复消色差物镜 20X, 50X
重量 主体:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg

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